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          超精密加工及检测技术

          详细说明

          超精密加工及自由曲面加工技术

          可用于制造各种平面、球面,凹/凸非球面、离轴非球面反射镜、非球面阵列、非涅尔反射镜、微沟槽阵列和多面棱镜等各种超精密关键元器件,其表面粗糙度高达纳米量级(Ra<10nm),实现光学质量表面的一次成型加工。 天津微纳制造技术工程中心(MNMT)利用超精密数控金刚石车床,其精度高、稳定性好,分辨率达0.034nm,可对铝、铜、镍、金、塑料(PMMA 等)、硅、锗、硒化锌、硫化锌等材料进行加工,以及各种尺寸的光学注塑用模仁(如手机镜头透镜,数码相机镜头透镜等)。目前,MNMT开展自由曲面加工关键技术的研发及自由曲面关键件的生产,目前已申报多项国家发明专利,成为我国关键件的高水准制造基地。

          应用实例:


          各种光学非球面透镜的精密模芯及模具;

          柱面反射镜、抛物面及双曲面反射镜;

          LED准直镜,

          非涅尔反射镜及非涅尔透镜;

          各种光学自由曲面透镜的精密模芯及模具

          LCD显示屏的微透镜阵列;

          手机透镜、数码相机透镜及DVD读写镜头;

          各种蝇眼反射镜及蝇眼透镜


          精密检测技术

          检测分析是超精密加工工序中必不可少的关键环节,在加工过程中需要有高精度的检测仪器来配合其做出合格的产品。我中心配备了各类国内外先进的检测分析仪器来保证产品的精度,包括非球面表面轮廓测量系统,白光干涉仪,超景深微观显微镜,扫描电子显微镜,激光干涉仪等。

          表面轮廓仪

          该系统可对包含陡峭边沿的非球面光学镜面及模具进行表面轮廓、形貌、粗糙度的全自动测量和分析。该系统在非球面光学领域应用广泛,实现了无斜面限制的全自动表面测量,对表面起伏很大的非球面能够实现超高精度的测量。该轮廓仪对直径为0.5mm200mm且倾斜角度超过90°的模具或透镜,均可以实现无差错测量。

          超景深三维显微镜

          易操作,可实现清晰的大景深立体观察,可从任意方向进行观察,并可实时改善及保存图像,实现观察、保存、测量一体化。

          白光干涉仪

          具有测头系统自动倾斜测量功能,垂直分辨率< 0.1nm Ra, RMS重现性 0.05nm ,可透过介质测量表面,主要应用于生物医药器具检测 ,印刷电路板检测,汽车零部件质量和光学器件测量,以及MEMS镀膜工艺测量等等。

           

          扫描电子显微镜

          FEI SEM/FIB双束系统,在同一操作界面可同时实现FIB加工和SEM观察,是纳米加工、2D/3D纳米表征、纳米分析的理想工具??捎τ糜诟呔?/span>复杂的微纳米结构和器件的加工,微电子集成电路的缺陷检测分析和修整,微纳米生物芯片和光学器件加工研究,同时还可进行3维重构、STEM分析、能谱分析、EBSP分析等。  


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